由罗茨泵(或双罗茨)与滑阀泵串联组成。与单台滑阀泵相比，具有真空度高、高真空区抽气量大、节能效果显著、占地面积小、可自动化操作等优点。根据被抽真空系统的大小及极限压力的不同，真空机组各泵之间的名义抽速之比一般在4:1至10:1之间，前者较后者适用于较大真空系统及长时间在较低入口压力或极限真空情况下工作。
广泛应用于电力工业的变压器、电线电缆、电容器的真空浸渍、真空干燥工艺中。是真空镀膜、真空冶炼、真空热处理、真空滤油、冷冻干燥；航空模拟试验较理想的真空设备。